对待工作,态度认真严谨,有较强的责任心,能够吃苦耐劳,乐于接受新事物,同时注重团队合作,执行力强。性格方面,乐观开朗,积极向上,待人随和,适应环境能力强。
项目描述:释放机台真空腔体与大气环境无buffer腔缓冲,受大气影响工艺波动大,且受CF4释放工艺特性(去除polymer)限制,在线难以直接有QC监控;CF4释放速率快会导致刻蚀结构中的SIN&TI的loss量多,导致RSVOUT坏图,RV高等失效;释放速率慢会导致Polymer残留,造成麻点失效;即需解决因CF4释放工艺波动导致的RV波动问题,因CF4释放工序产生的坏图和麻点失效,成测良率提升10%以上。
项目职责
1.对QC进行不同温度的拉偏,分析可得130℃内对Ti的刻蚀速率较小且稳定,可用作低温温度范围。
2.对3812先行CF4低温温度拉偏验证,CF4低温释放可通过降低对TI的ER减少对PAS TI的刻蚀,能够将PI释放后的残留Polymer去除干净,并能明显改善坏图,最终选择100℃进行验证。
项目业绩
1.导入CF4释放低温新工艺,实现工艺窗口扩大化,稳定释放工艺。
2.解决因释放带来的麻点、坏图失效,各产品成测良率提升约9%-24%。
3.明确Dummy & QC规则规范并更新SOP实施。
项目描述:CAP刻蚀后发现CP PAD发黑,显检下看是TIN已经被刻蚀掉,CD下则是表面留下零星的不规则的TIN,另外部分AL露出来后被后腐蚀,造成外观比较粗糙,产生发黑现象。即需改善CP PAD发黑问题,减少因此产生的封装不良。
项目职责:
1.将刻蚀由时间控制改为终点控制,有效的改善了因过刻导致的CP PAD发黑问题。
2.负责调试PAS2刻蚀菜单,解决静电吸附问题。
3.负责调试DPS C腔去胶菜单。
4.负责调试PAS2清洗菜单,改善因后腐蚀导致的CP PAD发黑问题。
项目业绩:
1.有效的解决了CP PAD发黑问题,全线导入CAP刻蚀终点控制菜单。
2.在DPS调试出PAS2刻蚀和去胶的菜单,使得刻蚀和去胶均可在DPS中完成,减少与空气接触引起的后腐蚀,减少了因此而产生的封装不良。